當前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 氣體分析 > 電子氣 > GC-9560-PDD四氟化碳分析氦離子色譜儀
簡要描述:氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設(shè)計,并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)
詳細介紹
四氟化碳分析氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設(shè)計,并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng),不同底氣的樣品的進樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化*項目。
項目 | 指 標 | ||
四氟化碳(CF4)純度(體積分數(shù))/10-2 ≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
氮(N2)含量(體積分數(shù))/10-6 < | 4 | 20 | 40 |
氧+氬(O2+Ar)含量(體積分數(shù))/10-6 < | 1 | 5 | 10 |
二氧化碳(CO2)含量(體積分數(shù))/10-6 < | 1 | 5 | 10 |
一氧化碳(CO)含量(體積分數(shù))/10-6 < | 0.1 | 0.5 | 1 |
六氟化硫(SF6)含量(體積分數(shù))/10-6 < | 1 | 1 | 5 |
水分(H2O)含量(體積分數(shù))/含量,10-6 < | 3 | 5 | 10 |
酸度(以HF計)含量含量(體積分數(shù))/10-6 < | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
其它鹵碳化合物a含量(體積分數(shù))/10-6 < | 1 | 10 | 30 |
總雜質(zhì)含量(體積分數(shù))/l0-6 ≤ | 10 | 50 | 10 |
顆粒 | 供需雙方商定 | 供需雙方商定 | 供需雙方商定 |
其它鹵碳化合物包括:六氟乙烷、八氟丙烷等。
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