超純氣、高純氣的分析測試是痕量分析學(xué)科的一個分支。它是研究氣體純度分析與其中痕量雜質(zhì)測定的一門范圍較窄但具有現(xiàn)實(shí)意義的專業(yè)學(xué)科。隨著我國經(jīng)濟(jì)的高速發(fā)展，對高純氣不僅在數(shù)量上、質(zhì)量上、種類上都不斷提出新的要求，而且對相應(yīng)的國家標(biāo)準(zhǔn)、檢測理論、方法與檢測儀器的研究、研制與生產(chǎn)都提出了更高的要求。的檢測儀器不僅能指導(dǎo)生產(chǎn)工藝的控制與改革，還能確保產(chǎn)品質(zhì)量、避免生產(chǎn)廠家與使用單位的糾紛。
       “超純氣體”一詞是在1964年超純氣體測試年會上定義的,即凡氣體純度達(dá)5個“9”（ 99.999%）以上，總雜質(zhì)為10x10-6V/V（即10ppm）以下的氣體皆屬“超純氣體范疇。但五十年的發(fā)展已經(jīng)改變了這一定義；已經(jīng)把5個“9”氣體稱為高純氣，而稱6個“9”以上純度氣體才為超純氣。純度大于99%以上的氣體純度分析都采用扣除雜質(zhì)的差減法計(jì)算，因而氣體純度分析實(shí)際是對氣體中微量或痕量的雜質(zhì)氣體檢測。因其檢測方法很多，本文不論述，僅對氣相色譜儀檢測雜質(zhì)氣體的現(xiàn)狀作一小結(jié)，并對某些概念上的認(rèn)識提出看法。水分也是一種雜質(zhì)氣體，而且是極為特殊的、又無處不在的氣體雜質(zhì)，因檢測手段特殊，本文也不予論述。
      內(nèi)容中提出的高純氣體分析中出現(xiàn)的“本底”、“小檢測濃度”和“定量與誤差”，都是痕量分析中的理論問題、也是實(shí)際問題。這里不敘述理論的推導(dǎo)，但用理論解決問題，主要就實(shí)際中的認(rèn)識問題重點(diǎn)論述，歡迎參加討論。
1、本底
   “本底”是指在色譜載氣中含有的被測雜質(zhì)氣體，配標(biāo)準(zhǔn)氣用底氣中含的被測雜質(zhì)氣；測試系統(tǒng)（載氣系統(tǒng)與樣品氣系統(tǒng)）帶來的或被漏入的（以氧、氮為主）該雜質(zhì)氣。大多數(shù)濃度型檢測器都要求本底值遠(yuǎn)小于它的小檢測濃度。當(dāng)載氣中本底值大于樣品氣中某雜質(zhì)濃度時，該雜質(zhì)氣會出現(xiàn)“反峰”。配制標(biāo)準(zhǔn)氣的底氣要求就更嚴(yán)格了，否則本底值直接影響定量了。但是質(zhì)量檢測器（以火焰離子化檢測器為主的）是例外。我們在檢測氧中烴類雜質(zhì)時發(fā)現(xiàn)，用純氮?dú)猓?個“9”）作載氣（氫氣和空氣相同），也能檢測到0.1ppm的烴（一般國產(chǎn)色譜儀），乃至20—50ppm的烴雜質(zhì)氣。這是因?yàn)檩d氣中的雜質(zhì)（氧、氫、一氧化碳、二氧化碳FID上無響應(yīng)，甲烷含量≤5ppm）因濃度不變，只能使檢測器（FID）產(chǎn)生一個相應(yīng)穩(wěn)定的“基流”，只要基數(shù)平衡、噪聲小，0.1ppm的烴類雜質(zhì)氣仍舊可以在基線上出一個峰。氣相色譜定量規(guī)定，小的檢測峰的判定：小的峰峰高值是二倍于噪聲值。過去國產(chǎn)儀器只能檢測0.1ppm的烴是因?yàn)閮x器的總噪聲值較高。只要將總噪聲值下降一個數(shù)量級，則小檢測峰就會提高一個數(shù)量級。我公司的FID敏感度指標(biāo)仍是Mt≤1×10-11g/s（正十六烷），和其它廠家的指標(biāo)一樣，但總噪聲值低。因此，“氫焰型氣相色譜儀只能檢測與本底電流值相近”的說法是缺乏根據(jù)的。而我們再利用濃縮法，使烴中乙炔檢測可以測到ppb級。
        本底值影響大的是分析高純氣中氮和氧（空氣中的主要成分）。經(jīng)純化后的載氣如仍產(chǎn)生本底影響，其主要原因是漏氣產(chǎn)生的。管路中有接頭、閥、表等就不可避免會漏入空氣。我們只能控制一定漏量，使之不影響分析。也就說“漏氣”是的，“不漏”只是相對的。例如使用高純氬氣分析儀時，為分析純氣純度必須優(yōu)于6個“9”。我們將載氣凈化到7個“9”以上，留出一定“空間”，使“漏氣”后仍滿足分析要求。在高純氣體分析儀上不允許使用有機(jī)材料作密封（因?yàn)榭諝庵械?、氧能穿透有機(jī)材料滲透進(jìn)入系統(tǒng)中），包括各種橡膠，聚四氟乙烯等[27]；另外，還要盡量少用卡套。檢測時樣氣（標(biāo)氣）流路也一樣存在漏氣問題。我們已找到改變分析操作能判斷是否有漏氣方法，并能大致確定漏量大小。還有“在檢測<20ppb超低微量氣體成分時，不能采用紫銅及一般不銹鋼材料”的說法也欠根據(jù)。氦離子化檢測器和電子捕獲檢測器都是能直接撿測ppb級的檢測器，在儀器上我們?nèi)杂靡话阕香~與不銹鋼管作連接管與色譜柱，只是要將管內(nèi)清洗和置換干凈就能滿足要求[27]。在校驗(yàn)方法上，有人說“市售瓶裝標(biāo)準(zhǔn)氣含量在1—20ppm內(nèi)，使用這種濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣去校驗(yàn)1—20ppb濃度的含量數(shù)據(jù)，兩種數(shù)據(jù)大小相關(guān)1000倍，這是不合理的。”這是外行批評內(nèi)行的話！好象批評者能配出含量為1—20ppb的標(biāo)準(zhǔn)氣？因?yàn)楹苊黠@目前還沒有人能得到純度為9個“9”的配標(biāo)準(zhǔn)氣的底氣?；谀壳爸荒芘渲瞥鰌pm級標(biāo)準(zhǔn)氣，*底氣純度得到；第二個問題是配氣誤差。只要查一下國家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局批準(zhǔn)的[GBW]和二級[GBW（E）]氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)（共300多種）[11]，就可知道氣瓶標(biāo)氣小配制濃度只能到1ppm。第三考慮到濃縮法能將ppb變?yōu)閜pm級和檢測器可以的線性范圍。因而用ppm的標(biāo)準(zhǔn)氣校驗(yàn)ppb級就不足奇怪。理論與技術(shù)上的研究，在許多內(nèi)容上都是使“不可能”“不合理”的事，讓它在一定條件下成為可能。
2、小檢測濃度
       色譜檢測器小檢測濃度取決于，一是檢測器的敏感度。敏感度愈高檢測器檢測的雜質(zhì)濃度愈低；二是色譜峰的峰寬愈?。ㄖв撸?，檢測雜質(zhì)氣濃度愈低。具體對于小的峰峰高必須是噪聲的兩倍信號。任何色譜儀檢測器的小檢測值就是小檢測濃度。儀器操作者都應(yīng)知道，低于此濃度的值（沒有出峰）不應(yīng)是“0”，而應(yīng)是小于小檢測濃度值。理論上也認(rèn)為只能接近于“0”,而不能等于“0”。對于連續(xù)監(jiān)測的數(shù)字顯示儀所顯示的“0”也應(yīng)這樣看，因?yàn)轱@示不能表示出小于它小檢測濃度的值來。因而所有儀器在檢測雜質(zhì)時，如果未能測出含量，則給報告中，該組分含量就應(yīng)寫出小于小檢出濃度值，而不能寫“0”。
3、定量與誤差
       每臺氣相色譜儀分析高純氣體必須做到有相應(yīng)被測雜質(zhì)氣的敏感度和較好重復(fù)性。我們認(rèn)為在上述條件和滿足本底要求條件下，儀器的定量誤差主要取決于標(biāo)準(zhǔn)氣的度（可靠性）。對于痕量成分重復(fù)測量的相對誤差往往比常量分析大的多。對0.1—10ppm濃度的檢測重復(fù)性（相對誤差），在10—20%的相對誤差也是較好的；PPT級的雜質(zhì)氣，可以允許有一個數(shù)量級之差。在定量方法上都采用了“外標(biāo)法”，即使用標(biāo)準(zhǔn)氣校正。在實(shí)驗(yàn)室可以做到用多種配制標(biāo)準(zhǔn)氣方法較正，能得到較高的可靠性。而在實(shí)際使用中難度很大，因此國家在標(biāo)準(zhǔn)氣的配制上要求是很嚴(yán)格的